MgF2 substrāts
Apraksts
MgF2 tiek izmantots kā lēca, prizma un logs viļņa garumam no 110 nm līdz 7,5 μm.Tas ir vispiemērotākais materiāls kā ArF Excimer Laser logs, jo ir laba pārraide pie 193nm.Tas ir arī efektīvs kā optiskais polarizētājs ultravioletajā reģionā.
Īpašības
| Blīvums (g/cm).3) | 3.18 |
| Kušanas punkts (℃) | 1255. gads |
| Siltumvadītspēja | 0,3 Wm-1K-1 pie 300 K |
| Termiska izplešanās | 13,7 x 10-6 /℃ paralēla c ass 8,9 x 10-6 /℃ perpendikulāra c ass |
| Knoop cietība | 415 ar 100 g ievilkumu (kg/mm2) |
| Īpatnējā siltuma jauda | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektriskā konstante | 1,87 pie 1MHz paralēlas c-ass 1,45 pie 1MHz perpendikulāras c-ass |
| Youngs Modulus (E) | 138,5 GPa |
| Bīdes modulis (G) | 54,66 GPa |
| Lielapjoma modulis (K) | 101,32 GPa |
| Elastības koeficients | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Šķietamais elastības ierobežojums | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Puasona attiecība | 0,276 |
MgF2 substrāta definīcija
MgF2 substrāts attiecas uz substrātu, kas izgatavots no magnija fluorīda (MgF2) kristāla materiāla.MgF2 ir neorganisks savienojums, kas sastāv no magnija (Mg) un fluora (F) elementiem.
MgF2 substrātiem ir vairākas ievērojamas īpašības, kas padara tos populārus dažādos lietojumos, īpaši optikas un plānslāņa pārklājuma jomā:
1. Augsta caurspīdīgums: MgF2 ir lieliska caurspīdīgums ultravioletā (UV), redzamā un infrasarkanā (IR) elektromagnētiskā spektra apgabalos.Tam ir plašs pārraides diapazons no ultravioletā starojuma aptuveni 115 nm līdz infrasarkanajam apmēram 7500 nm.
2. Zems refrakcijas indekss: MgF2 ir salīdzinoši zems refrakcijas indekss, kas padara to par ideālu materiālu AR pārklājumiem un optikai, jo samazina nevēlamus atstarojumus un uzlabo gaismas caurlaidību.
3. Zema absorbcija: MgF2 ir zema absorbcija ultravioletajos un redzamajos spektra apgabalos.Šī īpašība padara to noderīgu lietojumos, kuros nepieciešama augsta optiskā skaidrība, piemēram, lēcās, prizmās un logos ultravioletajiem vai redzamajiem stariem.
4. Ķīmiskā stabilitāte: MgF2 ir ķīmiski stabils, izturīgs pret plašu ķīmisko vielu klāstu un saglabā savas optiskās un fizikālās īpašības dažādos vides apstākļos.
5. Termiskā stabilitāte: MgF2 ir augsts kušanas punkts, un tas var izturēt augstu darba temperatūru bez ievērojamas degradācijas.
MgF2 substrāti parasti tiek izmantoti optiskajos pārklājumos, plānslāņa nogulsnēšanas procesos un optiskajos logos vai lēcās dažādās ierīcēs un sistēmās.Tie var kalpot arī kā bufera slāņi vai veidnes citu plānu kārtiņu, piemēram, pusvadītāju materiālu vai metālisku pārklājumu, augšanai.
Šos substrātus parasti ražo, izmantojot tādas metodes kā tvaiku pārklāšana vai fiziskas tvaiku transportēšanas metodes, kur MgF2 materiālu uzklāj uz piemērota substrāta materiāla vai audzē kā vienu kristālu.Atkarībā no pielietojuma prasībām substrāti var būt vafeļu, plākšņu vai pielāgotu formu veidā.
