SrTiO3 substrāts
Apraksts
SrTiO3 monokristālam ir laba perovskīta struktūras materiāla režģa struktūra.Tas ir lielisks substrāta materiāls HTS un vairuma oksīda plēvju epitaksiskajai augšanai.To plaši izmanto augstas temperatūras supravadošu plānu kārtiņu izpētē.To plaši izmanto arī īpašos optiskajos logos un augstas kvalitātes izsmidzināšanas mērķos.
Īpašības
Orientācija: (100) +/-0,5 grādi
Malu orientācijas indikācija: <001> +/-2 grādi pieejams kā opcija par papildu samaksu
Pulēšana: vienas puses EPI pulēts ar CMP tehnoloģiju ar mazākiem zemvirsmas režģa bojājumiem.
Iepakojums: iesaiņots 100 pakāpes plastmasas maisiņā zem 1000 klases tīras telpas.
| Kristāla struktūra | Kubisks, a = 3,905 A |
| Augšanas metode | Vernuil |
| Blīvums (g/cm).3) | 5.175 |
| Kušanas punkts (℃) | 2080. gads |
| Cietība (Mho) | 6 |
| Termiska izplešanās | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Dielektriskā konstante | ~ 300 |
| Zaudējuma tangente pie 10 GHz | ~5x10-4@ 300K , ~3x10-4@77K |
| Krāsa un izskats | Caurspīdīgs (dažreiz nedaudz brūns, pamatojoties uz atkausēšanas stāvokli). Nav dvīņu |
| Ķīmiskā stabilitāte | Nešķīst ūdenī |
SrTiO3 substrāta definīcija
SrTiO3 substrāts attiecas uz kristālisku substrātu, kas izgatavots no savienojuma stroncija titanāta (SrTiO3).SrTiO3 ir perovskīta materiāls ar kubisku kristāla struktūru, kam raksturīga augsta dielektriskā konstante, augsta termiskā stabilitāte un laba režģa saderība ar daudziem citiem materiāliem.
SrTiO3 substrāti tiek plaši izmantoti plānslāņa nogulsnēšanās un epitaksiālās augšanas jomās.SrTiO3 kubiskā struktūra ļauj augt augstas kvalitātes plānām kārtiņām ar izcilu kristālisko kvalitāti un zemu defektu blīvumu.Tas padara SrTiO3 substrātus ļoti piemērotus epitaksiālo plēvju un heterostruktūru audzēšanai dažādiem lietojumiem.
SrTiO3 augstā dielektriskā konstante padara to piemērotu tādiem lietojumiem kā kondensatori, atmiņas ierīces un feroelektriskās plānās kārtiņas.Tā termiskā stabilitāte padara to piemērotu lietošanai augstā temperatūrā.
Turklāt SrTiO3 dažādās īpašības, piemēram, tā metāliskā vadītspēja zemās temperatūrās un iespēja izraisīt supravadīšanas stāvokli, padara to noderīgu kondensētās vielas fizikas pētījumos un elektronisko un optoelektronisko ierīču izstrādē.
Rezumējot, SrTiO3 substrāti ir kristāliski substrāti, kas izgatavoti no stroncija titanāta, ko parasti izmanto plānslāņa nogulsnēšanai, epitaksiskajai augšanai un plašam elektronisko un optoelektronisko lietojumu klāstam, jo tiem ir augsta dielektriskā konstante, termiskā stabilitāte un labas režģa atbilstības īpašības.
